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光谱共焦位移传感器 FD 系列

光谱共焦镜面测量,可实现纳米级分辨率

采用光谱共焦原理,理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量;反射类型为镜面反射,可实现透明物体的测量,以及更小的测量盲区。

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产品特点

高分辨率

理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量

安全性高

出射光为微小功率白光,对人眼危害性极小

温度特性好

感测头镜头内部无热源,温漂小,精密测量稳定性能好

抗干扰能力强

内置物理抗干扰装置,不受外界光源影响

高精度直线性

光的波长是调频信号,对强度变化干扰不敏感。光纤传输对电磁抗干扰能力强

应用场景

技术参数

感测头

类型

小巧型

超高精度型

高精度

小量程

中量程

形状测量

高光亮

高光亮

型号

FD08-181300

FD15-201400

FD15-123000

FD35-188000

FD65-1823400

FD40-481400

FD27-450600-H

FD40-264600-H

基准距离

8mm

13.8mm

20.5mm

33mm

70.8mm

8.8mm

7mm

30mm

测量范围

±0.625mm

±0.7mm

±1.5mm

±4mm

±11.7mm

±0.7mm

±0.3mm

±2.3mm

分辨率

4nm

4nm

6nm

40nm

50nm

4nm

1.6nm

10nm

线性精度

±0.32μm

±0.35μm

±0.75μm

±2μm

±5.8μm

±0.35μm

±0.15μm

±1.2μm

最小测量厚度

43μm

47μm

100μm

267μm

780μm

47μm

20μm

133μm

光斑直径

17μm

13μm

40μm

25μm

14μm

8μm

25μm

40μm

测量角度

±18°镜面

±20°镜面

±12°镜面

±18°镜面

±18°镜面

±48°镜面

±45°镜面

±26°镜面

外径尺寸

8mm

15mm

15mm

35mm

65mm

40mm

27mm

40mm

环境温度

0℃~60摄氏度

环境湿度

60±40% RH(无凝露)

防护等级

IP63

重量

18g

26g

18g

200g

620g

320g

82g

157g

控制器

高速型

标准型

经济型

型号

CV-FD1W-E

CV-FD2W-E

CV-FD1WP-E

CV-FD2WP-E

CV-FD1WE-E

CV-FD2WE-E

CV-FD4WE-E

探头连接数量

1个

2个

1个

2个

1个

2个

4个

采样频率

最高33KHz

最高15KHz

最高0.45KHz

接口

Ethernet

PC、PLC 的通讯可选自定义协议或Modbus 协议

可实现参数读写、测量结果获取、GPIO 控制及状态获取等

支持Modbus 协议、采用与PC、PLC 的自定义指令 通信,可进行测量数据输出及控制的输入输

I/O

最高10路输入输出,可选使用数据采集同步输出信号、 同步触发信号、交替光源等功能

通用输入2路,通用输出4路

编码器输入

5轴AB相编码器或光栅尺信号输入

(无编码器输入)

耐环境性

环境温度

0℃~50℃

使用环境湿度

60±20%℃ RH无凝露

电源

24V/DC±10%

最大功耗

最大约84W

最大约15W

重量

2.5Kg

0.7kg

系统构成

辅助套件

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