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光谱共焦位移传感器 FD 系列

光谱共焦镜面测量,可实现纳米级分辨率

采用光谱共焦原理,理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量;反射类型为镜面反射,可实现透明物体的测量,以及更小的测量盲区。

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产品特点

高分辨率

理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量

安全性高

出射光为微小功率白光,对人眼危害性极小

温度特性好

感测头镜头内部无热源,温漂小,精密测量稳定性能好

抗干扰能力强

内置物理抗干扰装置,不受外界光源影响

高精度直线性

光的波长是调频信号,对强度变化干扰不敏感。光纤传输对电磁抗干扰能力强

应用场景

技术参数


超细型紧凑型纳米级高精度型
型号FD04-131000FD08-181300  FD08-290800FD15-201400FD15-320640
订货号613100002613100004613100005613100007613100009
基准距离4mm8mm4mm13.8mm6mm
测量范围±0.5mm±0.65mm±0.4mm±0.7mm±0.32mm
分辨率2nm4nm10nm4nm2nm
线性精度±0.25μm±0.32μm±0.2μm±0.35μm±0.16μm
最小测量厚度33μm43μm27μm47μm22μm
光斑直径8μm17μm11μm13μm3.4μm
测量角度±13°镜面±18°镜面±29°镜面±20°镜面±32°镜面
外径尺寸3.8mm8mm8mm15mm15mm
采样频率2kHz ~ 4kHz
温度特性0.012% F.S/℃
接口USB/以太网
环境温度4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露
环境湿度60±10% RH 无凝露
防护等级IP40
工作电压24V DC
重量8g18g18g26g26g

小巧经济型通用经济型
型号FD27-202500  FD27-201200  FD35-078400FD35-184000  
订货号613100012613100013613100014613100015
基准距离24.2mm24.8mm110mm35mm
测量范围±1.25mm±0.6mm±4.2mm±2mm
分辨率6nm3nm100nm20nm
线性精度±0.62μm±0.3μm±2.1μm±1μm
最小测量厚度83μm42μm280μm133μm
光斑直径13μm13μm20μm25μm
测量角度±20°镜面±20°镜面±7°镜面±18°镜面
外径尺寸27mm27mm35mm35mm
采样频率2kHz ~ 4kHz
温度特性0.012% F.S/℃
接口USB/以太网
环境温度4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露
环境湿度60±10% RH 无凝露
防护等级IP40
工作电压24V DC
重量132g132g300g200g

大角度小光斑型
型号FD40-176000FD40-198000  FD40-194000  FD40-304200
订货号613100016613100017613100018613100020
基准距离45mm42mm44mm22.3mm
测量范围±3mm±4mm±2mm±2.1mm
分辨率12nm16nm8nm9nm
线性精度±1.5μm±2μm±1μm±1μm
最小测量厚度200μm266μm133μm143μm
光斑直径20μm16μm16μm11μm
测量角度±17°镜面±19°镜面±19°镜面±30°镜面
外径尺寸40mm
采样频率2kHz ~ 4kHz
温度特性0.012% F.S/℃
接口USB/以太网
环境温度4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露
环境湿度60±10% RH 无凝露
防护等级IP40
工作电压24V DC
重量182g161g161g201g

大角度小光斑型宽量程长距离型
型号FD40-362520FD40-481400  FD65-1823400  FD65-631900
订货号613100022613100024613100025613100026
基准距离15.8mm8.8mm70.8mm8mm
测量范围±1.26mm±0.7mm±11.7mm±0.95mm
分辨率6nm4nm50nm4nm
线性精度±0.64μm±0.35μm±5.8μm±0.5μm
最小测量厚度85μm47μm780μm63μm
光斑直径10μm8μm14μm7μm
测量角度±36°镜面±48°镜面±18°镜面±63°镜面
外径尺寸40mm
采样频率2kHz ~ 4kHz
温度特性0.012% F.S/℃
接口USB/以太网
环境温度4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露
环境湿度60±10% RH 无凝露
防护等级IP40
工作电压24V DC
重量300g320g620g907g


系统构成

辅助套件

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