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纳米级型光谱共焦位移传感器 FD27-201200

基准距离：24.8mm
测量范围：±0.6mm
分辨率：3nm
光斑直径：13μm
测量角度：±20°镜面
外径尺寸：27mm

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通用经济型型光谱共焦位移传感器 FD35-078400

基准距离：110mm
测量范围：±4.2mm
分辨率：100nm
光斑直径：20μm
测量角度：±7°镜面
外径尺寸：35mm

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通用经济型型光谱共焦位移传感器 FD35-184000

基准距离：35mm
测量范围：±2mm
分辨率：20nm
光斑直径：25μm
测量角度：±18°镜面
外径尺寸：35mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-176000

基准距离：45mm
测量范围：±3mm
分辨率：12nm
光斑直径：20μm
测量角度：±17°镜面
外径尺寸：40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-198000

基准距离：42mm
测量范围：±4mm
分辨率：16nm
光斑直径：16μm
测量角度：±19°镜面
外径尺寸：40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-194000

基准距离：44mm
测量范围：±2mm
分辨率：8nm
光斑直径：16μm
测量角度：±19°镜面
外径尺寸：40mm

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