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光谱共焦激光位移传感器的原理以及湾测产品优势
2021-11-19深圳市湾测技术有限公司

                                                                            光谱共焦原理小课堂

自然界的日光属白光一种,白光不是最纯洁的光,而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生,而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的,也就是折射角度,波长愈短折射率愈大,波长愈长折射率愈小,同一薄透镜对不同单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)。


而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。


为了得到上述特殊的色差,需要在传感器探头内使用若干特殊透镜,用来根据所需量程将光线分解。最后使用一个凸透镜,将传感器探头射出的光线聚拢在一条轴线上,形成所谓的焦点轴线。如果不使用凸透镜,传感器探头射出的光将分散开来,测量也就无法进行了。


白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦最好的反射光通过

透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。

在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。

这里只计算光线波长,用以产生测量信号。反射光产生的信号波峰振幅并不在信号测量依据之内。也就是说反射光的光强不会影响测量结果。

这意味着,无论有多少反射光从被测物体反射回来,测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反射物体的反光程度。


湾测光谱共焦产品优势

‍‍‍‍深圳市湾测技术有限公司针对市场的需求,开发出全系列精密光谱共聚焦位移传感器产品,可广泛应用于3C、半导体、液晶面板、点胶、新能源等行业。



1.测量多种表面

可测量镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴等表面


2.高精密检测

产品为纳米级分辨率


3.温度稳定性好

镜头本身不发热,温度漂移小


4.自动聚焦

在量程范围内,被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面


5.横向分辨率高

测量光斑微小,能分辨被测物上的微小轮廓变化


6.输出多层厚度数据

可检测多层薄膜和玻璃厚度,一次检测输出多层厚度数据


7.无阴影效应

不像激光三角测量原理传感器存在视野盲区

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